一款光刻胶,要想真正从“实验室的宠儿”蜕变为能够支撑整个国家
半导体产业自主崛起的工业脊梁,
它还必须经历一个更严酷、也更具说服力的考验——
那就是,在非启明芯体系的、真正意义上的第三方商业晶圆厂大规模生产线上,进行全面的、不打任何折扣的上线验证!
用实实在在的、可重复的、具有统计学意义的量产数据,来向全世界证明,我们的神农光刻胶,
不仅仅是能用,更是好用,甚至比进口的还要耐用!
这,才是“神农光刻胶Sp-28”真正的“生死考验”!
也是它作为战略备胎,能否成功转正,并最终成长为华夏半导体产业链定海神针的——初始之战!
林轩为此,亲自选定了第一个试炼场和战略同盟军——
华夏大陆规模最大、工艺也相对最先进的芯片代工企业
——华芯国际集成电路制造有限公司(SIc的平行世界加强版)。
华芯国际,作为华夏半导体产业的“国家队”成员之一,近年来虽然也在努力追赶国际先进水平,
但在核心的28纳米及以下逻辑芯片制造工艺上,同样长期受困于国外高端光刻胶的卡脖子之痛。
他们不仅要承受东瀛和国供应商那高昂到离谱的采购价格,更常常面临“有钱也买不到货”或“只能买到技术降级版”的屈辱境地。
对于启明芯“神农光刻胶”的横空出世,华芯国际的最高管理层,在最初的震惊和难以置信之后,
便立刻敏锐地意识到,这,或许是他们摆脱困境、实现供应链自主的——天赐良机!
在林轩通过国家半导体全产业链自主化领导小组的渠道,
向华芯国际董事长兼cEo张汝发出“共同推进国产高端光刻胶产业化应用”的战略合作邀请后,双方几乎是一拍即合!
“林总!顾博士!”
在一次于京城举行的、由国家工信部和科技部领导共同见证的闭门签约仪式上,
张汝紧紧握住林轩和顾维钧的手,声音因为激动而微微颤抖,
“我代表华芯国际,感谢启明芯为我们华夏半导体产业做出的巨大贡献!
我们华芯国际,愿意成为‘神农光刻胶’的第一个‘商业用户’和最坚定的战略伙伴!
我们愿意拿出我们最先进的28纳米生产线,与启明芯和联合实验室的专家们一起,共同对‘神农光刻胶Sp-28’进行最严苛、最全面的上线验证!
我相信,我们一定能够携手,创造出属于我们华夏自己的‘光刻奇迹’!”
一场由启明芯提供核心技术与光刻胶样品、华芯国际提供量产验证平台与工艺环境、
并由双方顶尖技术团队深度参与的、“神农光刻胶Sp-28”小批量产线验证攻坚战,
在华芯国际位于沪上最先进的12英寸晶圆厂内,正式打响!
最初的几轮上线测试,过程并不像在启明芯内部研发线上那般顺利。
毕竟,华芯国际的生产设备型号、工艺参数设置、以及产线环境的控制标准,都与启明芯自有的研发线存在着细微的差异。
这些看似微不足道的差异,在光刻这种“失之毫厘谬以千里”的精密工艺中,
都可能导致最终成像结果的巨大偏差。
“神农光刻胶Sp-28”在华芯国际的产线上,一度也出现了诸如与特定底层抗反射膜的附着力不佳、
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