2013年,盛夏的骄阳,炙烤着华夏大地。
启明芯“星尘补天计划”在光刻胶、特种电子气体、高纯金属靶材等
关键材料领域取得的连环胜利,如同在国及其盟友精心构筑的“技术铁幕”上,
硬生生撕开了一道道触目惊心的巨大裂口!
这不仅极大地提振了华夏整个半导体产业的信心,
更让那些曾经不可一世的国际材料寡头们,
第一次真切地感受到了来自东方巨龙的、那种足以令他们寝食难安的强大压力!
然而,林轩的目光,却从未有片刻的停歇。
他深知,材料的突破,固然重要,但它仅仅是解决了“米”的问题。
而真正能够将这些“米”煮成“饭”,并将华夏半导体产业的整体水平提升到世界之巅的——
是那些代表着现代工业文明最高智慧结晶的、被誉为“工业母机中的母机”的——核心半导体制造设备!
光刻机!刻蚀机!薄膜沉积设备!离子注入机!化学机械抛光设备!高精度量测设备!
这些动辄数千万、甚至数亿美金一台的国之重器,
其核心技术和全球市场,几乎被荷国ASL、国应用材料(AAt)、泛林集团(LA)、科磊(KLA),以及东瀛的东京电子(tEL)、尼康、佳能等少数几家寡头所绝对垄断!
他们不仅掌控着最先进的设备制造工艺和核心零部件供应链,更通过其与国政府千丝万缕的联系,
对华夏实行着最严酷、也最不公平的“技术代差”出口管制和“精准断供”威胁!
“不掌握核心设备,我们所谓的‘全链自主’,就永远只是一句空话!”
在一次“星尘补天计划”核心战略决策会议上,林轩的目光扫过赵晴鸢、陈家俊、孙振南,以及几位新近从国家级科研院所和大型装备制造集团秘密招募来的、专门负责设备攻关的顶级专家,语气斩钉截铁,不容置疑!
“我们不能再满足于从别人手中高价购买那些‘阉割版’的二手设备!
我们更不能将我们整个国家半导体产业的未来,寄托在别人那虚无缥缈的‘善意’和随时可能撕毁的‘契约’之上!”
“‘星尘补天计划’在设备领域的总攻,从今天起,正式打响!”
然而,所有人都清楚,想要在短期内就从零开始,完整地复制并超越ASL的EUV光刻机或应用材料的等离子刻蚀机,
那几乎是不可能完成的任务,即便是倾尽启明芯和整个国家之力。
林轩,也从未打算进行这种“堂吉诃德式”的、不切实际的正面硬撼。
他为启明芯的“设备破局”之路,早已规划好了一条更加务实、也更加具有林氏特色的——“化整为零、核心突破、逐步替代、最终超越”的战略!
“我们不必急于求成,去追求一口气就造出整台最先进的光刻机或刻蚀机。”
林轩在巨大的全息星图上,将那些复杂的设备结构逐一分解,
如同最精明的外科医生,精准地找到了它们的“命门”所在。
“我们要做的,是像蚂蚁啃骨头一样,
先从这些‘国之重器’最核心、价值最高、也最容易被卡脖子的关键零部件和核心子系统入手!”
“比如,光刻机的光源系统!”林轩指向屏幕上那代表着ASL光刻机核心的
极紫外(EUV)光源和深紫外(dUV)准分子激光光源的复杂结构图,
“没有稳定、高能、长寿命的光源,再精密的光学镜头和工件台,也是一堆废铁!
目前,全球最先进的EUV光源技术,基本被国的cyr和东瀛的Gigaphoton所垄断。而dUV准分子激光器的核心技术,也同样掌握在这两家手中。”
“再比如,光刻机的投影物镜系统!”他的手指又点向另一个核心模块,
“那里面每一块镜片的材料选择、非球面加工精度、多层光学镀膜工艺、以及整个物镜系统的热稳定性控制和像差校正算法……
其技术难度,堪称人类光学精密制造的极致!目前只有德意志的蔡司一家,能够稳定供应ASL最顶级的EUV和dUV物镜。”
“还有,刻蚀机的等离子体发生器和真空系统!薄膜沉积设备的超高精度气体输送与控制单元(Fc)!
离子注入机的高能离子源和束流传输系统!
化学机械抛光设备的精密研磨头和终点检测技术!
以及所有这些设备都离不开的、超高精度的运动工件台、
特种传感器、真空控制阀门、以及为其提供‘大脑’的复杂控制软件与算法……”
林轩每点出一个核心零部件或子系统,
在场所有设备专家的脸色,便不由自主地凝重一分。
他们太清楚这些看似“微小”的部件背后,所蕴含的巨大技术鸿沟和专利壁垒了。
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